Bildergalerie: Description 1059324 in Directory 06

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DTXT_TITLE: IBM 4-Megabit-Chip-Fertigung Fotolackbeschichter, IBM Werk Sindelfingen-Hulb (1990)
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BESCHREIBUNG: Anlage zur Beschichtung von Siliziumscheiben mit Fotolack. Lichtempfindlicher Fotolack wird aus Vorratsflaschen mit Partikelfiltern auf die Siliziumscheiben dosiert. Durch anschließendes Drehen der Scheiben mit mehreren Tausend Umdrehungen pro Minute wird durch Abschleudern eine von Lackviskosität und Drehzahl abhängige Lackdichte erreicht. Das folgende \"Backen\" der Scheiben auf Heizplatte entfernt überschüssiges Lösungsmittel aus dem Lack und stabilisiert dadurch den sich anschließenden Fotolithographieprozess.
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RUBRIK: Forschung Technologie Fertigung
BILDRECHTE: IBM
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