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Elektronenmikroskop  <>

DTXT_TITLE: Elektronenmikroskop mit bisher höchster Auflösung (2002) DOC_TYPE: Image ARCHIV: 1000 FIL_ID: 50750058 FIL_ORG: 81491.jpg FIL_EXT: jpg FIL_WIDTH: 1416 FIL_HEIGHT: 932 FIL_RES: 300 FIL_SIZE: 701104 FIL_COLOR: RGB FIL_ROTATE: FIL_CLIP: FIL_CROP: FIL_IMG: FIL_PATH: DOC_SPERRVERMERK: DOC_INPUT: 30-08-2002 13:43:46 DOC_UPDATE: 09-10-2008 13:17:13 DOC_STATUS: 1 DOC_KATALOG: 1 DOC_SPERR: 1 BESCHREIBUNG: IBM und Nion Co.-Forscher haben neue Techniken entwickelt, um künftig noch bessere Auflösungen - bis in Atomstrukturen hinein - mit Elektronenmikroskopen zu erzeugen. Dabei wurde das bisher präziseste Elektronenmikroskop geschaffen, das es ermöglicht, bei der Entwicklung künftiger Computerchips Strukturen in atomarer Größenordnung zu untersuchen. Hierzu ist ein ausführlicher wissenschaftlicher Beitrag in der Zeitschrift "Nature" vom 8. August 2002 erschienen. Insbesondere werden bisher bei Elektronenmikroskopen durch minimale Ungenauigkeiten in den Linsensystemen bildverschleiernde Aberrationen erzeugt. Neue magnetische Linsen in Kombination mit Computern, die die Verzerrungen rechnerisch korrigieren, ermöglichen Elektronenstrahlen mit Durchmessern von nur 3 Milliardstel Inch, das ist weitaus schmaler als ein einzelnes Wasserstoff-Atom. Damit wird die Materialforschung verlässlicher, so dass künftig beispielsweise in Chip-Strukturen Fehler erkannt und behoben werden können. Außerdem verbessert sich die Kenntnis über das Materialverhalten etwa bei Halbleitern. Bild: Das linke Bild zeigt einen Fehler im Silizium-Kristall bei einer Auflösung von 2 Angström und im rechten Bild bei einer Auflösung von 1 Angström. BU: RUBRIK: Forschung Technologie Fertigung BILDART: Makroaufnahme STICHWORTE: Atome, Elektronen-Mikroskop, Chip, Halbleiter, Nanotechnologie IBM_NUMMER: 81491 FARBE: farbig FORMAT: Quer BILDRECHTE: IBM BILDQUELLE: https://domino.research.ibm.com/Comm/bios.nsf/pages/sub-a.html EINGABE: Dentz EXPORTPATH: 25/images/50750058.jpg

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