Bildergalerie: Description 50750106 in Directory 25

Elektronenmikroskop  <>

DTXT_TITLE: Elektronenmikroskop mit bisher höchster Auflösung (2002)
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BESCHREIBUNG: IBM und Nion Co.-Forscher haben neue Techniken entwickelt, um künftig noch bessere Auflösungen - bis in Atomstrukturen hinein - mit Elektronenmikroskopen zu erzeugen. Dabei wurde das bisher präziseste Elektronenmikroskop geschaffen, das es ermöglicht, bei der Entwicklung künftiger Computerchips Strukturen in atomarer Größenordnung zu untersuchen. Hierzu ist ein ausführlicher wissenschaftlicher Beitrag in der Zeitschrift "Nature" vom 8. August 2002 erschienen. Insbesondere werden bisher bei Elektronenmikroskopen durch minimale Ungenauigkeiten in den Linsensystemen bildverschleiernde Aberrationen erzeugt. Neue magnetische Linsen in Kombination mit Computern, die die Verzerrungen rechnerisch korrigieren, ermöglichen Elektronenstrahlen mit Durchmessern von nur 3 Milliardstel Inch, das ist weitaus schmaler als ein einzelnes Wasserstoff-Atom. Damit wird die Materialforschung verlässlicher, so dass künftig beispielsweise in Chip-Strukturen Fehler erkannt und behoben werden können. Außerdem verbessert sich die Kenntnis über das Materialverhalten etwa bei Halbleitern. Bild: Die sechs Fotos zeigen die Leistungsfähigkeit des Elektronenmikroskops ohne (siehe oben) und mit (siehe unten) rechnerische Korrektur der Verzerrungen.
BU:
RUBRIK: Forschung Technologie Fertigung
BILDART: Makroaufnahme
STICHWORTE: Atome, Elektronen-Mikroskop, Chip, Halbleiter, Nanotechnologie
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FARBE: farbig
FORMAT: Hoch
BILDRECHTE: IBM
BILDQUELLE: http ://domino.research.ibm.com/Comm/bios.nsf/pages/sub-a.html
EINGABE: Dentz
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