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DTXT_TITLE: Neue Nanotechnologie-Methode für die Fertigung von Chip-Komponenten - Molecular Self Assembly (2003) DOC_TYPE: Image ARCHIV: 1000 FIL_ID: 50771086 FIL_ORG: 82806.jpg FIL_EXT: jpg FIL_WIDTH: 567 FIL_HEIGHT: 157 FIL_RES: 180 FIL_SIZE: 80200 FIL_COLOR: RGB FIL_ROTATE: FIL_CLIP: FIL_CROP: FIL_IMG: FIL_PATH: DOC_SPERRVERMERK: DOC_INPUT: 19-12-2003 14:21:41 DOC_UPDATE: 19-12-2003 14:22:30 DOC_STATUS: 1 DOC_KATALOG: 1 DOC_SPERR: 1 BESCHREIBUNG: IBM verfolgt einen neuen Ansatz in der Nanotechnologie, um konventionelle Halbleiter-Herstellprozesse zu ergänzen. Dabei haben IBM Forscher ein molekulares Selbstanordnungsverfahren (molecular self assembly) verwendet, das kompatibel ist mit existierenden Chip-Herstellungsprozessen. Dies ist besonders attraktiv für künftige Mikroelektronik-Technologien, da hohe Kosten der Werkzeugerstellung und -änderung vermieden werden, ebenso die Risiken, die bei größeren Änderungen von Herstellprozessen auftreten. Das molekulare Selbstanordnungsverfahren nützt die Tendenz bestimmter Typen von Polymer-Molekülen, sich selbst zu organisieren. Die Polymer-Moleküle verhalten sich dabei so, dass sie auf dem Chip Funktionen wesentlicher Bauelemente übernehmen und dabei kleiner, dichter, praeziser und gleichfoermiger sind als solche, die mit herkoemmlichen Verfahren wie der Lithografie hergestellt worden sind. Erläuterung zu dem Bild: Schematic representation of nanocrystal memory device. Silicon nanocrystal arrays are formed between the device polysilicon gate and silicon substrate, and are electrically-isolated by control- and program-oxides. The nanocrystal dimensions and positions in our device are defined using self assembly. High-resolution scanning electron microscope image of nanocrystal FLASH memory device. Arrays of uniformly-sized 20 nanometer diameter silicon nanocrystals (patterned using self assembly) are embedded between the device gate and silicon substrate. The device operates as a memory by storing charge in the nanocrystals. BU: RUBRIK: Forschung Technologie Fertigung BILDART: Makroaufnahme STICHWORTE: Nanotechnologie, Polymer IBM_NUMMER: 82806 FARBE: farbig FORMAT: Quer ORIGINAL: Digital BILDRECHTE: IBM BILDQUELLE: IBM Research EINGABE: Dentz EXPORTPATH: 27/images/50771086.jpg |
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