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DTXT_TITLE: IBM Millipede-System-Konzept: cantilevers and tips (2005)
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BESCHREIBUNG: Auf der CeBIT 2005 zeigt IBM erstmals den MEMS-Prototypen (MEMS = micro-electro mechanical system) eines nanomechanischen Datenträgers - bekannt als Millipede-Projekt(Millipede = Tausendfüßler. Mit revolutionärer Nanotechnologie ist es IBM Wissenschaftlern im Forschungslabor Rüschlikon gelungen, in den Bereich der Millionstel Millimeter vorzudringen. So konnte bei der Speicherung von Daten eine Aufzeichnungsdichte von 1 Terabit pro Quadratzoll überschritten werden - was etwa dem Inhalt von 25 DVDs auf der Fläche einer Briefmarke entspricht. Tausende von feinsten Spitzen "schreiben" winzige Vertiefungen, die einzelne Bits repräsentieren, in einen dünnen Film aus einem hochspezifischen Polymermaterial. Das Prinzip ist mit dem der früheren Lochkarte vergleichbar, nun aber mit Strukturgrößen im Bereich von Nanometern. Ein weiterer entscheidender Unterschied: mithilfe der eingesetzten Technologie lassen sich Bits löschen und überschreiben. Die Terabit-Dichte wurde mit einer einzelnen Silizium-Spitze erreicht, die Vertiefungen mit einem Durchmesser von circa 10 Nanometern erzeugt - 50.000mal kleiner als der Punkt am Ende dieses Satzes. Der jetzige Prototyp verfügt über mehr als 4000 solcher Spitzen, die in einem kleinen Quadrat von 6,4 Millimetern Seitenlänge angeordnet sind. Diese Dimensionen ermöglichen es, ein komplettes Speichersystem hoher Kapazität in das kleinste standardisierte Format für Flash-Memory zu packen. Kern der Millipede-Technologie ist eine zweidimensionale Anordnung von v-förmigen Silizium-Federzungen (Kantilever), die 70 Mikrometer (Tausendstel-Millimeter) lang sind. Am Ende jeder "Zunge" befinden sich ein Sensor zum Lesen und ein Widerstand oberhalb der Spitze zum Schreiben. Die Spitze ist knapp 1 Mikrometer lang und der Radius beträgt nur wenige Nanometer. Die Zellen mit den Kantilevern sind auf einem Cantilever Array Chip angeordnet. Der Chip ist 7 x 14 mm groß. Im Zentrum sitzt das Array, das momentan aus insgesamt 4096 (64x64) Kantilevern besteht, die aus dem Silizium herausgeätzt sind. Der eigentliche Datenträger besteht aus einem nur wenige Nanometer dünnen Polymerfilm auf einem Silizium-Substrat. Über Multiplexer einzeln angesteuert lesen, schreiben oder löschen die Köpfe das gewünschte Bit. Bildinhalt: electron microscope views of the 3 mm by 3 mm cantilever array (top), of an array section of 64 cantilevers (upper center), an individual cantilever (lower center), and an individual tip (bottom) positioned at the free end of the cantilever which is 70 micrometers (thousands of a millimeter) long, 10 micrometers wide, and 0.5 micrometers thick. The tip is less than 2 micrometers high and the radius at its apex smaller than 20 nanometers (millionths of a millimeter).
BU:
RUBRIK: Forschung Technologie Fertigung
PRODUKTFAMILIE: Speichersysteme
BILDART: Makroaufnahme
STICHWORTE: Mikromechanik, AFM, Nanotechnologie, CeBIT 2005
IBM_NUMMER: 84017
FARBE: sw
FORMAT: Quer
ORIGINAL: Digital
BILDRECHTE: IBM
BILDQUELLE: https://www-5.ibm.com/de/pressroom/cebit/photos/index.html
EINGABE: Häßler
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